供应 STEC SEC-Z514M质量流量控制器

SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器 
高性能高端数字式质量流量控制器
Digital Mass Flow Controllers
主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地*气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) **高精度:±1.0% . (25-** .); ±0.25% . (≤25% .);
3) 快速响应:< 1秒 (全量程范围内,任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以较大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;

气体接触部件材料:SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm . 类型); SUS 316L不锈钢,Viton(氟化橡胶-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不锈钢(100 ~ 200slpm . 类型)

满量程流量
SEC-Z512KX: 1/2sccm
SEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpm
SEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpm
SEC-Z532KVX: 100slpm
SEC-Z542KVX: 200slpm