供应 STEC SEC-E40 E50 E60质量流量控制器

Gas Mass Flow Controllers / Meters
?  适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 
?  适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。 
?  低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3/E50MK3 
 技术规格
型号	SEC- (质量流量控制器)	E40/E40MK3	E50/E50MK3
	SEF- (质量流量计)	E40	E50
适用气体种类*1	非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质	SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号	非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应.)	10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)	2?** .
流量测量范围
(适于SEF系列)	0?** .
响应速度	1秒以内(T98)
流量精度	±1% .
直线性	±0.5% .
反复性	±0.2% .
工作差压值值 
(适于SEC系列)	10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)	300kPa(G)以下
耐 压	1MPa(G)以下
外部泄漏率	1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用环境温度	5?50℃(精度的确保:15?35℃)
流量设定信号	0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?** .
流量输出信号	0?5VDC(较小负荷电阻2kΩ)
驱动电源	+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA